XY精密對位平臺

• 一般環境使用

• 高精密對位平臺，中空設計，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，平面度≤8um，可配R軸旋轉軸，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等；

• 產品參數

  XY軸行程分別為：200-300mm (可定制)
  重復定位精度：±0.001mm
  絕對定位精度：±0.004mm
  應用行業：晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等
  *絕對定位精度需通過軟件修正。
  Tips：絲桿模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度；最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準；馬達加減速設定為0.2s。

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